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1.一种形成3D立体似六角形微结构之制程,其系包 括: (一)制作光罩:制造一由复数个平行四边形所形成 的微阵列光罩;以及 (二)制作3D立体似六角形微结构:首先以湿式氧化 炉管(Wet Oxidation)的方式在晶格排列为<110>的矽晶 圆上生长出氧化层,并且于该<110>矽晶圆上做正光 阻的涂布,使该正光阻覆盖于氧化层上,并藉由紫 外光(UV-Light)微影技术对准<110>矽晶圆的<111>晶格 方向进行微影,使所制作的微阵列光罩透过曝光显 影的方式于<110>的矽晶圆上微影出作为蚀刻遮罩 的平行四边形微阵列,并藉由等向性蚀刻液及非等 向性蚀刻液于<110>的矽晶圆上蚀刻出3D立体似六角 形微阵列结构。 2.如申请专利范围第1项所述之形成3D立体似六角 形微结构之制程,其中各平行四边形的夹角分别为 109.5度及70.5度。 3.如申请专利范围第2项所述之形成3D立体似六角 形微结构之制程,其中等向性蚀刻液为BOE(Buffered Oxide Etchant)。 4.如申请专利范围第3项所述之形成3D立体似六角 形微结构之制程,其中非等向性蚀刻液为氢氧化钾 (KOH)。 5.一种凸3D立体似六角形微阵列结构,其中以复合 材料聚二甲基矽氧烷(Polydimethyl siloxane;PDMS)对依申 请专利范围第1至4项其中任一项制程所制成的3D立 体似六角形微结构的<110>的矽晶圆进行翻模,使聚 二甲基矽氧烷(PDMS)基材上翻模出凸3D立体似六角 形微结构。 6.一种具凹3D立体似六角形微结构阵列的金属模具 ,其中以复合材料聚二甲基矽氧烷(Polydimethyl siloxane;PDMS)对依申请专利范围第1至4项其中任一项 制程所制成的3D立体似六角形微结构的<110>的矽晶 圆进行翻模,使聚二甲基矽氧烷(PDMS)基材上翻模出 凸3D立体似六角形微结构,再于翻模出凸3D立体似 六角形微结构的基材上,以电铸的方式形成与凸3D 立体似六角形微结构相结合的具凹3D立体似六角 形微结构阵列的金属模具。 图式简单说明: 第一图系本发明平行四边形阵列之示意图。 第二图系本发明<110>矽晶圆及其主切边<111>之平面 图。 第三图系本发明矽晶圆经过氧化炉管生长氧化层 及涂光阻之剖面图。 第四图系本发明紫外光微影中光罩与矽晶圆对准 特定晶格之示意图。 第五图系本发明蚀刻出3D立体似六角形微结构阵 列示意图。 第六图系本发明翻模出凸3D立体似六角形微结构 阵列示意图。 第七图系本发明单一3D立体似六角形微结构立体 图。 |
