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发明名称 Thin film forming system having particle remover and detector
摘要
申请公布号 KR100669944(B1) 申请公布日期 2007.01.18
申请号 KR20040027620 申请日期 2004.04.21
申请人 发明人
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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