MICROLITHOGRAPHIC REDUCTION OBJECTIVE, PROJECTION EXPOSURE DEVICE AND PROJECTION EXPOSURE METHOD,申请号KR19990039313-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	MICROLITHOGRAPHIC REDUCTION OBJECTIVE, PROJECTION EXPOSURE DEVICE AND PROJECTION EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号	KR100671317(B1)	申请公布日期	2007.01.18
申请号	KR19990039313	申请日期	1999.09.14
申请人		发明人
分类号	G03F7/20;H01L21/027;G02B13/14;G02B13/24	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

Verfahren und Vorrichtung zum UEberlappen von Boegen

Sulphate and bicarbonate removal from sea - water

Leukodruckfarbe,die chlorierte n-Paraffine enthaelt,fuer Matrizen- oder Schablonendruckverfahren

Verbesserter Stabilisator fuer Harze und ein Verfahren zu seiner Herstellung

1,3-diacetoxy 2-methylenepropane prepn

Alkoxypentadienone prepn from phosphorane - derivs

Combustible solids for carbon dioxide genera - tion

Degassing molten steel in the melting bath - without a vacuum

Fire-proof tank ventilation installation - for tankers

Enzymatic washing agents and detergents

Einrichtung zur Ermittlung von Stoerungen im Betrieb von impulsdurchflossenen Stromkreisen

Ferngesteuerter Kipptorantrieb

Drehanodenroentgenroehre

Verfahren zum Bemalen (Farben) von glaskeramischem Material

Reibahle mit Mehrschneidenmesser

Phosphonic acid (low in f) prepn

Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements

Helligkeitsveraenderbare Leuchte

Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Sicherheitsschraubeninnengewindes

Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Schmieren vertikaler und auch horizontaler Greifer bei Naehmaschinen