发明名称 Verfahren und Anordnung zum Untersuchen eines Messobjekts mittels invasiver Strahlung
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Untersuchen eines Messobjekts (1), das industriell und/oder handwerklich hergestellt wurde. Das Messobjekt (1) weist eine Mehrzahl von verschiedenen Materialien auf, zumindest zwei verschiedene Materialien. Es werden erwartete Materialeigenschaften von zumindest zwei verschiedenen Materialien des Messobjekts (1) festgestellt. Die erwarteten Materialeigenschaften werden bei einer Auslegung und/oder Einstellung einer Messanordnung verwendet, wobei die Messanordnung zumindest eine Strahlungsquelle (2) zur Erzeugung invasiver Strahlung und eine strahlungsempfindliche Sensoreinrichtung (3) zur Detektion von Strahlung nach einer Wechselwirkung der invasiven Strahlung mit dem Messobjekt aufweist und wobei die Messanordnung unter Berücksichtigung der erwarteten Eigenschaften so ausgelegt und/oder eingestellt wird, dass unterschiedliche Wechselwirkungen der invasiven Strahlung mit zumindest zwei verschiedenen Materialien des Messobjekts (1) von den Sensoreinrichtungen (3) detektiert werden können. Die unterschiedlichen Wechselwirkungen bestehen auf Grund spektral unterschiedlicher Materialeigenschaften der verschiedenen Materialien. Ein Ergebnis der unterschiedlichen Wechselwirkungen der invasiven Strahlung wird mittels der Sensoreinrichtung (3) detektiert.
申请公布号 DE102005033533(A1) 申请公布日期 2007.01.18
申请号 DE20051033533 申请日期 2005.07.14
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH 发明人 ENGEL, THOMAS
分类号 G01N23/06 主分类号 G01N23/06
代理机构 代理人
主权项
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