Abscheidungsverfahren,申请号DE19956034965T-传众专利搜索

发明名称	Abscheidungsverfahren
摘要
申请公布号	DE69534965(T2)	申请公布日期	2007.01.18
申请号	DE19956034965T	申请日期	1995.03.30
申请人	APPLIED MATERIALS INC.	发明人	ANDERSON, ROGER N.;HEY, H. PETER W.;BEINGLASS, ISRAEL;VENKATESAN, MAHALINGAM
分类号	C30B25/08;H01L21/00;C23C14/50;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31	主分类号	C30B25/08
代理机构		代理人
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