| 摘要 |
<p>Es wird eine Vorrichtung zur Inspektion einer Oberfläche vorgeschlagen, wobei ein Inspektionssystem mit einer optischen Einrichtung zur Aufnahme des von der zu inspizierenden Oberfläche reflektierten Lichts und mit einem mindestens zwei Lichtquellen aufweisenden Beleuchtungssystem vorgesehen ist, wobei die optische Einrichtung und das Beleuchtungssystem mit einer Steuereinheit verbunden sind, wobei die Lichtquellen in einem Abstand voneinander beabstandet angeordnet sind, wobei die Lichtquellen jeweils Licht in einen an der zu inspizierenden Oberfläche vorgesehenen Erfassungsbereich der optischen Einrichtung emittieren, wobei die optische Einrichtung auf die zu inspizierende Oberfläche gerichtet ist, wobei mindestens eine der im Abstand voneinander angeordneten Lichtquellen des Beleuchtungssystems jeweils in mehrere einzelne Lichtquellen unterteilt ist, wobei die Steuereinheit mindestens zwei der im Abstand voneinander angeordneten Lichtquellen des Beleuchtungssystems und/oder die einzelnen Lichtquellen von mindestens einer der im Abstand voneinander angeordneten Lichtquellen jeweils wahlweise und unabhängig voneinander ansteuert, wobei der Erfassungsbereich der optischen Einrichtung in einer Bewegungsebene der relativ zu dem Inspektionssystem durch diesen Erfassungsbereich hindurchbewegten zu inspizierenden Oberfläche liegt, wobei sich der Abstand der Lichtquellen des Beleuchtungssystems in der Bewegungsrichtung der zu inspizierenden Oberfläche erstreckt, wobei die einzelnen Lichtquellen von mindestens einer dieser Lichtquellen quer zur Bewegungsrichtung der zu inspizierenden Oberfläche angeordnet sind.</p> |
