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发明名称 UV-Härtungsverfahren zur Erzeugung eines Films mit geringem k-Wert& x9;
摘要
申请公布号 DE60124965(D1) 申请公布日期 2007.01.18
申请号 DE20016024965 申请日期 2001.01.31
申请人 FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JUNKER, KURT H.;GROVE, NICOLE R.;AZRAK, MARIJEAN E.
分类号 C23C16/40;H01L21/768;C23C16/54;C23C16/56;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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