发明名称 Method for forming poly silicon
摘要
申请公布号 KR100671212(B1) 申请公布日期 2007.01.18
申请号 KR19990067846 申请日期 1999.12.31
申请人 发明人
分类号 H01L29/786;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/77 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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