光刻装置和器件的制造方法

摘要

一种光刻投射装置，其中导管向在真空室内的例如目标台、相关的电机或传感器等可移动部件提供有用物质。导管包括防止由于真空室的真空而发生导管渗气的柔性金属波纹管，该波纹管同时允许可移动部件至少在第一自由度移动。

主权项

1.一种光刻投射装置包括：用于提供辐射投射射束的辐射系统；用于支撑构图部件的第一目标台，所述构图部件用于根据理想的图案对投射射束进行构图；用于保持基底的第二目标台；设有第一气体排出部件的真空室，用于为投射射束产生真空射束路径；用于在基底的靶部上投射带图案的射束的投射系统；和用于给在所述真空室中的至少一个自由度上可移动的一部件提供有用物质的导管，其特征在于导管包括柔性的金属波纹管；和所述导管包括柔性板，该柔性板用于在与重心平行的第一方向承载所述柔性金属波纹管。