| 发明名称 | 用于热处理衬底的方法和装置 | ||
| 摘要 | 为了以简单且经济的方法进行以高温计为基础的、对低温也能够实现的精确温度测量，本发明提供一种用于对衬底进行热处理的装置，具有：至少一个第一辐射源用于加热衬底；至少一个位于第一辐射源与衬底之间的透明遮热板，该遮热板减小第一辐射源辐射的给定波长范围；至少一个第二辐射源用于加热衬底，它至少以位于给定波长范围里的辐射辐射衬底；至少一个设置在第二辐射源一侧的、对准衬底的辐射检测器，它测量至少部分地在给定波长范围内部的由衬底发出的辐射强度；一个用于调制至少由第二辐射源发出的辐射的装置；一个用于确定从第二辐射源发出的辐射强度的装置。本发明还提供了用于对衬底进行热处理的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1295745C | 申请公布日期 | 2007.01.17 |
| 申请号 | CN02814635.2 | 申请日期 | 2002.05.23 |
| 申请人 | 马特森热力产品有限责任公司 | 发明人 | M·豪夫;C·施特里贝尔 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);G01J5/06(2006.01);C23C16/48(2006.01);H05B3/00(2006.01);C30B31/12(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 苏娟;章社杲 |
| 主权项 | 1.一种用于对衬底进行热处理的装置，具有-至少一个第一辐射源用于加热衬底，-至少一个位于第一辐射源与衬底之间的透明遮热板，该遮热板减小第一辐射源辐射的给定波长范围，-至少一个第二辐射源用于加热衬底，它至少以位于给定波长范围里的辐射辐射衬底，-至少一个设置在第二辐射源一侧的、对准衬底的辐射检测器，它测量至少部分地在给定波长范围内部的由衬底发出的辐射强度，-一个用于调制至少由第二辐射源发出的辐射的装置，和-一个用于确定从第二辐射源发出的辐射强度的装置。 | ||
| 地址 | 德国多恩施塔德 | ||