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发明名称
摘要
申请公布号	JP3867990(B2)	申请公布日期	2007.01.17
申请号	JP20050113681	申请日期	2005.04.11
申请人		发明人
分类号	G01L1/22;G01L9/04;G01B7/00;G01B7/16;H01L29/84	主分类号	G01L1/22
代理机构		代理人
主权项
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