发明名称 Resist material and pattern formation method
摘要
申请公布号 EP1602976(B1) 申请公布日期 2007.01.17
申请号 EP20050009720 申请日期 2005.05.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 KISHIMURA, SHINJI;ENDO, MASAYUKI;SASAGO, MASARU;UEDA, MITSURU;IMORI, HIROKAZU;FUKUHARA, TOSHIAKI
分类号 G03F7/039;G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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