| 发明名称 | 使用非牛顿流体清洗衬底的方法和装置 | ||
| 摘要 | 提供了一种用于清洗衬底的方法。在该方法中，提供了非牛顿流体流，其中至少部分流呈现栓塞流。为了从衬底表面去除颗粒，放置衬底表面与呈现栓塞流的流部分接触以使呈现栓塞流的流部分在衬底表面上移动。也描述了用于清洗衬底的另外的方法和装置。 | ||
| 申请公布号 | CN1897220A | 申请公布日期 | 2007.01.17 |
| 申请号 | CN200610106069.8 | 申请日期 | 2006.06.15 |
| 申请人 | 兰姆研究有限公司 | 发明人 | J·M·德拉里奥斯;M·拉夫金;J·法伯;M·科罗利克;F·C·雷德克尔 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/30(2006.01);B08B3/04(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘华联 |
| 主权项 | 1.一种用于清洗衬底的方法，包括方法操作：以非牛顿流体填充腔室；放置衬底到该腔室中；以及迫使另外非牛顿流体进入腔室以产生非牛顿流体流，至少部分流呈现栓塞流，衬底放置在腔室内以使呈现栓塞流的流部分在衬底表面上移动以能够从衬底表面去除颗粒。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||