低阈值直交流可分的微电子机械开关及其制造方法

摘要

低阈值直交流可分的微电子机械开关及其制造方法是通过两个驱动电极的设计，实现一种低阈值电压直交流可分的MEMS开关的结构设计，其制造方法为：a.准备基片：用浓HCL和氨水清洗砷化镓衬底；b.在准备的衬底上淀积并光刻共面波导、以及直流驱动电极，生成开关的共面波导、以及直流驱动电极的结构；c.生长介质保护层：用PECVD工艺生长SiN绝缘层；d.淀积并光刻牺牲层：在GaAs衬底上涂覆聚酰亚胺牺牲层并光刻；e.溅射上极板在聚酰亚胺层上溅射用于电镀的Ti/Au/Ti底金层；f.光刻并腐蚀Ti/Au/Ti底金层，形成腐蚀孔；g.在Ti/Au/Ti底金层电镀金；h.释放牺牲层：形成悬浮的可动膜结构。

主权项

1、一种低阈值直交流可分的微电子机械开关，其特征在于该微电子机械开关以衬底(7)为基底，在衬底(7)的中间设有一条共面波导的信号线(4)，在衬底(7)的两边分别设有一条共面波导的地线(6)，在共面波导的信号线(4)与共面波导的地线(6)之间设有直流驱动电极(5)，在直流驱动电极(5)和共面波导的信号线(4)的中间窄带部分的上面覆盖绝缘层(3)，在绝缘层(3)的上部设有上极板可动膜(1)，上极板可动膜(1)的两端固定在共面波导的地线(6)上，绝缘层(3)与上极板可动膜(1)之间是间隙层(2)。