| 发明名称 |
Electronic device with electrode and its manufacture |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1306889(B1) |
申请公布日期 |
2007.01.17 |
| 申请号 |
EP20020252255 |
申请日期 |
2002.03.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
MARUYAMA, KENJI;KONDO, MASAO;KURUSAWA, MASAKI |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/92 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
