| 发明名称 | 形成多个微组件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种形成多个微组件的方法，包括步骤：第一基板移动通过第一滚压装置，其中该第一滚压装置包括带有多个凸起的第一辊件和带有多个凹陷的第一辊件，其中多个凸起和多个凹陷彼此配合，使得当第一基板离开该第一滚压装置时，在该第一基板上形成多个腔室；第二基板移动通过第二滚压装置；在有至少一种等离子体发生气体存在的条件下使第二基板与第一基板固定，以使得在固定时，多个腔室至少部分地充入至少一种等离子体发生气体。 | ||
| 申请公布号 | CN1897207A | 申请公布日期 | 2007.01.17 |
| 申请号 | CN200610103196.2 | 申请日期 | 2001.10.26 |
| 申请人 | 科学应用国际公司 | 发明人 | 爱德华·维克托里·乔治;亚当·托马斯·德罗博特;罗杰·拉弗内·约翰逊;艾伯特·迈伦·格林;纽厄尔·孔韦尔·韦思 |
| 分类号 | H01J9/00(2006.01);H01J17/49(2006.01);H01J1/30(2006.01) | 主分类号 | H01J9/00(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王玉双 |
| 主权项 | 1.一种形成多个微组件的方法，包括步骤：第一基板移动通过第一滚压装置，其中该第一滚压装置包括带有多个凸起的第一辊件和带有多个凹陷的第一辊件，其中多个凸起和多个凹陷彼此配合，使得当第一基板离开该第一滚压装置时，在该第一基板上形成多个腔室；第二基板移动通过第二滚压装置；在有至少一种等离子体发生气体存在的条件下使第二基板与第一基板固定，以使得在固定时，多个腔室至少部分地充入至少一种等离子体发生气体。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||