| 主权项 |
1、一种光学三维测量用高精密组合光栅器件，包括投影仪标定光栅(2)，全白光栅(3)，格雷码光栅(4)和相移光栅(5)，其特征在于：采用电子束扫描光刻的方法于光刻机中在膨胀率极小的光刻用石英玻璃片(1)上依序刻出13幅光栅图，第1幅为投影仪标定光栅(2)，第2幅为全白光栅(3)，第3幅至第10幅是8幅格雷码光栅(4)，第10幅至第13幅是4幅相移光栅(5)，其中相移光栅(5)中的第1幅光栅即为格雷码光栅(4)中的第8幅光栅，每幅光栅大小一样，条纹方向相互平行，依序排列于光刻用石英玻璃片(1)上，格雷码光栅(4)的编码满足格雷码的编码规则，以黑、白条纹分别表示逻辑值0、1，8幅光栅形成8比特的格雷码，其中第一幅光栅编码值为01，条纹宽度相同，从第2幅光栅开始，其后的条纹宽度依次比前一幅光栅减小一半，光栅边缘条纹的宽度为中间条纹宽度的一半，而编码值分别为第二幅101，第三幅10101，第四幅101010101，依此类推；相移光栅(5)的编码满足四步相移法的编码规则，以第1幅光栅为基准，第2至第4幅光栅依次比前一幅光栅偏移半个中间条纹宽度即四分之一周期，其编码值依次为第一幅1010……0101，第二幅1010……1010，第三幅0101……1010，第四幅0101……0101；投影仪标定光栅(2)采用大小相同、分布均匀的正方形图案实现投影仪的标定。 |
