发明名称 PROCESS FOR FABRICATING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100670966(B1) 申请公布日期 2007.01.17
申请号 KR20000052985 申请日期 2000.09.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/32;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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