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发明名称 METHOD FOR CREATING SILICON DIOXIDE FILM
摘要
申请公布号 EP1437328(B1) 申请公布日期 2007.01.17
申请号 EP20020804354 申请日期 2002.11.25
申请人 KST WORLD CORP. 发明人 KAWASAKI, MASAHIRO
分类号 C01B33/12;G02B6/13;C23C16/14;C23C16/24;C23C16/56;C30B33/00;G02B6/132 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
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