| 发明名称 | 角速度检测器、利用角速度检测器的角速度检测方法及制造角速度检测器的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及角速度检测器，通过利用环形薄膜振动器来精心设置电极，其能够获得角速度的高检测灵敏度并同时检测两个轴向的角速度。检测器包括：振动器(1101)，其以距离第一衬底(1100)的恒定间距浮置并且通过支承在形成在第一衬底(1123)上的支承部件(1105)、(1106)上的支承弹性元件(外弹簧(1102)和内弹簧(1103))来设置；激励装置(磁体(1124)和驱动电极(1108))，其用于沿恒定振动方向激励振动器(1101)；及位移检测装置(检测电极(1109)，电极(1120))，其用于检测当来自外部的角速度作用于通过激励装置沿激励方向保持振动的振动器(1101)时振动器(1101)关于角速度沿垂直于激励方向的方向的位移，所述振动器(1101)或包括所述振动器(1101)的角速度检测单元通过电磁驱动激励。 | ||
| 申请公布号 | CN1898527A | 申请公布日期 | 2007.01.17 |
| 申请号 | CN200480038212.3 | 申请日期 | 2004.10.20 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 长田昌也;西竹宏;福元康司;松久和弘;安井淳人 |
| 分类号 | G01C19/56(2006.01);G01P9/04(2006.01) | 主分类号 | G01C19/56(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
| 主权项 | 1.一种角速度检测器，包括：衬底；形成在所述衬底的表面上的支承部分；弹性支承体，其各自的一端连接到所述支承部分；至少一个振动器，其被支承到所述弹性支承体的各自的另一端同时以一定间隔悬于所述衬底的所述表面之上，所述振动器能够相对于所述衬底位移；激励装置，用于激励所述振动器沿一定振动方向振动；以及位移检测装置，当角速度从外部作用同时振动器通过所述激励装置沿所述振动方向被振动时，该位移检测装置检测所述振动器响应于所述角速度沿与所述振动方向垂直的方向的位移；其中所述振动器或包括所述振动器的角速度检测部分被电磁驱动从而振动。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||