划片路径中具有光学控制模块的晶片

摘要

在具有多个曝光场(2)的晶片(1)中，每个曝光场(2)包括多个具有位于其中的IC(4)的栅格场(3)，提供两组(5，7)划片路径(6，8)并为每个曝光场(2)分配两个控制模块场(A1、A2、B1、B2、C1、D1、D2、E1、E2、F1)，每个控制模块场平行于第一方向(X)延伸并包含至少一个光学控制模块(OCM－A1、OCM－A2、OCM－B1、OCM－B2、OCM－C1、OCM－D1、OCM－D2、OCM－E1、OCM－E2、OCM－F1)，其中每个曝光场(2)的第一控制模块场(OCM－A1、OCM－B1、OCM－C1、OCM－E1、OCM－D1、OCM－F1)位于第一边(R1、S1、T1、U1、V1、Z1)和所讨论的曝光场(2)的栅格场(3)的行之间，且第二控制模块场(OCM－A2、OCM－B2、OCM－D2、OCM－E2)位于所讨论的曝光场(2)的两行栅格场(3)之间，这两行与第二边(R2、S1、U2、V2)相邻设置，且其中第一控制模块场(OCM－A1、OCM－B1、OCM－C1、OCM－D1、OCM－E1、OCM－F1)和第二控制模块场(OCM－A2、OCM－B2、OCM－D2、OCM－E2)每个都位于第一划片路径(6)中。

主权项

1.一种晶片(1)，该晶片(1)包括多个曝光场(2)且该晶片(1)在每个曝光场(2)中包括多个交叉的格子状的划片路径部分(6A、6B、6C、8A、8B、8C、8D)和多个栅格场(3)，其中每个栅格场(3)包含IC(4)，且该晶片(1)包括第一组(5)第一划片路径(6)和第二组(7)第二划片路径(8)，其中第一组(5)的所有第一划片路径(6)平行于第一方向(X)延伸并具有第一路径宽度(W1)，且其中第二组(7)的所有第二划片路径(8)平行于与第一方向(X)相交的第二方向(Y)延伸并具有第二路径宽度(W2)，且其中第一划片路径(6)包括多个在第一方向(X)上彼此连续设置的第一划片路径部分(6A、6B、6C)，且第二划片路径(8)包括多个在第二方向(Y)上彼此连续设置的第二划片路径部分(8A、8B、8C、8D)，并且其中提供和设计第一划片路径(6)和第二划片路径(8)以用于栅格场(3)和其中包含的IC(4)的后续分离，且其中每个曝光场(2)具有平行于第一方向(X)延伸的第一边(R1、S1、T1)和平行于第一方向(X)延伸并与第一边(R1、S1、T1)相对的第二边(R2、S2、T1)，且其中为每个曝光场(2)分配至少两个控制模块场(A1、A2、B1、B2、C1、D1、D2、E1、E2、F1)，每个控制模块场包含至少一个光学控制模块(OCM-A1、OCM-A2、OCM-B1、OCM-B2、OCM-C1、OCM-D1、OCM-D2、OCM-E1、OCM-E2、OCM-F1)，且其中每个曝光场(2)的第一控制模块场(OCM-A1、OCM-B1、OCM-C1、OCM-D1、OCM-E1、OCM-F1)与所讨论的曝光场(2)的第一边(R1、S1、T1)紧邻，并位于第一边(R1、S1、T1)和平行于第一方向(X)延伸的栅格场(3)的行之间、在第一划片路径部分(6A、6B、6C)中并由此在第一划片路径(6)中，且其中每个曝光场(2)的第二控制模块场(OCM-A2、OCM-B2、OCM-D2、OCM-E2)在平行于第一方向(X)延伸并彼此相邻设置的两行栅格场(3)之间、与第二边(R2、S2)相隔预设距离，因此同样在第一划片路径(6)中。