| 发明名称 | 形成微组件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种形成微组件的方法，其中该方法是在有等离子体发生气体的条件下进行的，包括步骤：提供材料；把夹杂物移入到材料内；对材料做热处理，使得夹杂物在材料内开始形成气泡；使气泡聚集，以形成多孔外壳；以及冷却该外壳，使得当外壳冷却时，等离子体气体被密封在外壳内。 | ||
| 申请公布号 | CN1897210A | 申请公布日期 | 2007.01.17 |
| 申请号 | CN200610103195.8 | 申请日期 | 2001.10.26 |
| 申请人 | 科学应用国际公司 | 发明人 | 爱德华·维克托里·乔治;亚当·托马斯·德罗博特;罗杰·拉弗内·约翰逊;艾伯特·迈伦·格林;纽厄尔·孔韦尔·韦思 |
| 分类号 | H01J9/02(2006.01) | 主分类号 | H01J9/02(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王玉双 |
| 主权项 | 1.一种形成微组件的方法，其中该方法是在有等离子体发生气体的条件下进行的，包括步骤：提供材料；把夹杂物移入到材料内；对材料做热处理，使得夹杂物在材料内开始形成气泡；使气泡聚集，以形成多孔外壳；以及冷却该外壳，使得当外壳冷却时，等离子体气体被密封在外壳内。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||