表面发射激光器

摘要

本发明涉及一种垂直空腔表面发射激光器(VCSEL)，其具有非对称的光限制。具有对称结构的VCSELs偏振将会不可预测和可以转换。本发明的VCSEL在发射分布布喇格镜的顶部具有一个绝缘叠层。该叠层由两层或更多层构成，这些层为绝缘层，且每个交替的层具有两种不同的折射率。在优选实施例中，在顶部镜子和绝缘层之间有一个抗反射涂层。作为优选该叠层小于发射孔。

主权项

1.一种垂直空腔表面发射激光器(VCSEL)，该激光器具有一个夹在p型镜子和n型镜子之间以及在p型接点和n型接点之间的有源层，该有源层用于为该激光器提供运行功率，该p型接点位于在该激光器的发射侧的p型镜子上并具有一个构成发射区域的小孔，该改进包括一个位于所述小孔内的抗反射涂层以及在所述抗反射涂层上的绝缘镜子构件，所述绝缘镜子构件具有一个比发射孔小的区域，该区域用于横模控制，所述抗反射涂层也是一蚀刻停止层。