显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种显示装置，目的在于防止在把铝系导电层用做与低温多晶硅接触的源极·漏极电极时的加热工序中铝元素向多晶硅层的扩散，并避免显示不良的发生。在本发明的显示装置中，把铝系导电层用做源极·漏极电极，在该铝系导电层和多晶硅层之间设置钼或钼合金层的阻挡层。在构成阻挡层的钼或钼合金层的表面上，设置在氮气氛下进行高速热处理(高速热退火)所形成的氮氧化钼膜。

主权项

1.一种具有薄膜晶体管基片的显示装置，该薄膜晶体管基片至少包括：在表面上具有底层的绝缘基片；在上述底层上形成的多晶硅层；中间间隔着覆盖上述多晶硅层的第1绝缘层而形成的栅极电极；覆盖上述栅极电极的第2绝缘层；形成在上述第2绝缘层上，贯通上述第2绝缘层和上述第1绝缘层，与上述多晶硅层接触的一对源极·漏极电极；以及覆盖上述源极·漏极电极的第3绝缘层，其特征在于：上述源极·漏极电极具有：顶盖层，形成在由铝或铝合金构成的导电层的上层，与上述第3绝缘层接触，并由钼或钼合金构成；以及阻挡层，形成在上述导电层的下层，与上述多晶硅层接触，并由钼或钼合金构成，而且，在上述阻挡层的与上述导电层接触的表面上，还具有氮氧化钼膜。