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发明名称 VAPORIZING DEVICE AND METHOD FOR VAPORIZING COATING MATERIAL
摘要
申请公布号 EP1743046(A2) 申请公布日期 2007.01.17
申请号 EP20050735463 申请日期 2005.04.16
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 GOTTSMANN, LUTZ;SEYFERT, ULF;WENZEL, BERND-DIETER;JAEGER, REINHARD
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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