用于分析半导体电浆产生系统中之电力潮流之系统及方法

摘要

一种用于量测和分析半导体电浆产生器射频式激发系统中电力潮流参数之系统及方法。量测探针连接至射频传输线以接收并量测经由该传输线传送之电压和电流信号。一种高速取样之方法将量测之射频电压和电流信号转换至数位信号。此等数位信号随之被处理以显示对应于原始射频信号之基本和谐振振幅和相位资讯。多重量测探针可插入电力传输通道以量测二连接埠参数，且网路式探针可介入探测以决定输入阻抗、输出阻抗、插入减损、内部耗损、电力潮流效率、散射、以及射频信号上之电浆非线性效应。