微型机器之制造方法及微型机器

摘要

本发明之目的在于提供一种可抑制构造体腐蚀的微型机器之制造方法及微型机器，其特征系具有：第1步骤，其系于基板11上将具有含氟化氢解离剂的矽氧化物材料之牺牲层12形成图案者；第2步骤，其系于覆盖牺牲层12的状态下，于基板11上形成构造体16者；第3步骤，其系于牺牲层12上之构造体16，形成到达牺牲层12的孔部18者；第4步骤，其系从孔部18仅导入氟化氢气体，或仅导入氟化氢气体与惰性气体，利用牺牲层12中的解离剂进行牺牲层12的蚀刻，于基板11与构造体16之间形成振动空间者。