发明名称 | 一种影像感测器的制作方法 | ||
摘要 | 本发明系提供一种制作影像感测器的方法,方法包括提供一个半导体基底,且半导体基底包含像素阵列区域与逻辑区域,于像素阵列区域之半导体基底中形成复数个感光二极体,于半导体基底上进行多重金属内连线制程,于像素阵列区域和逻辑区域上沈积护层,去除像素阵列区域上方的护层,以及于像素阵列区域中形成复数个滤光阵列,并分别对应各感光二极体。 | ||
申请公布号 | TW200703582 | 申请公布日期 | 2007.01.16 |
申请号 | TW094122710 | 申请日期 | 2005.07.05 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 李盛进 |
分类号 | H01L23/00(2006.01) | 主分类号 | H01L23/00(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 许锺迪 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |