发明名称 一种影像感测器的制作方法
摘要 本发明系提供一种制作影像感测器的方法,方法包括提供一个半导体基底,且半导体基底包含像素阵列区域与逻辑区域,于像素阵列区域之半导体基底中形成复数个感光二极体,于半导体基底上进行多重金属内连线制程,于像素阵列区域和逻辑区域上沈积护层,去除像素阵列区域上方的护层,以及于像素阵列区域中形成复数个滤光阵列,并分别对应各感光二极体。
申请公布号 TW200703582 申请公布日期 2007.01.16
申请号 TW094122710 申请日期 2005.07.05
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 李盛进
分类号 H01L23/00(2006.01) 主分类号 H01L23/00(2006.01)
代理机构 代理人 许锺迪
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号