发明名称 静电吸附电极及处理装置
摘要 本发明之课题提供一种防止静电吸附电极之气体流路中之异常放电,同时即使万一气体流路发生异常放电时,也可轻易修理的静电吸附电极。本发明之解决手段静电夹5,系具有由可互相分离之第1基材30与第2基材31所构成的组合构造。分别在第1基材30上之介电质材料膜8内埋设电极6a,在第2基材31上之介电质材料膜8内埋设电极6b。在组合第1基材30与第2基材31之状态下,两者之间系包围第1基材30周围地来形成空隙,此空隙功能为供给导热气体的气体供给细缝9c。
申请公布号 TW200703545 申请公布日期 2007.01.16
申请号 TW095118131 申请日期 2006.05.22
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 林圣;南雅人
分类号 H01L21/68(2006.01) 主分类号 H01L21/68(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本