收容盒搬运系统

摘要

本发明之目的是在于提供搬运大型化的基板或收容盒等的大型重量物的搬运系统，可抑制尘埃发生及占有空间的收容盒搬运系统。藉由浮起装置6浮起搬运路4(7，9a，9b)上的收容盒3，将浮起的收容盒3藉由设于搬运路4(7，9a，9b)的侧部的一对收容盒移送臂5a～5c加以保持，沿着搬运路，朝水平方向移动。收容盒3是作成浮起，所以，防止发生基于滑动摩擦的尘埃，并且也可将移动收容盒3的收容盒移动装置作成小型化。