| 摘要 |
一种提供基板运送器最小伸缩运动之基板之对准器，以快速对准基板而不损坏背面，同时增加基板加工之处理能力。于一实施例中，该对准器具备连接至具有基板转移系统之机架的倒置夹头，该基板转移系统能够将基板自夹头转移至运送器而不需以转动方式将基板再定位。该倒置夹头能消除基板基准部位连同转移系统之对准障碍，使运送器得以在对准期间保持在机架内。于另一实施例中，该对准器具有连接至机架之可转动式感测头及具备用以在对准期间支持基板之透明放置垫的基板支持器，因此运送器可于对准期间保持在机架内。基板对准之执行，与支持垫上之基准部位放置无关。于另一实施例中，该基板支持器利用缓冲系统以提供基板在装置内之缓冲，使基板得以快速交换。 |
