画素电极之开关元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种适用于显示器的画素电极之开关元件及其制造方法，包括：形成一闸极于部分的一基板上方。形成一半导体层于该闸极上方。形成一源／汲极于部分该半导体层上方。其中，更包括形成一低介电常数材料层于该闸极与该半导体层之间以及／或位于该源／汲极上方，且该低介电常数材料层包括含碳氢之非晶矽化物(a–SiC：H)或含碳氢氮之非晶矽化物(a–SiCN：H)。