基板温度控制系统及其方法

摘要

一种基板温度控制系统包括载板、多个温度回馈装置以及控制单元。载板用以承载基板，且载板包括多个温度调节区。温度回馈装置系分别用以感测温度调节区之温度，并据以输出温度回馈讯号。控制单元根据温度回馈讯号，控制温度调节区之温度，以调整位于载板上对应各温度调节区之基板部份之尺寸。