基板测定装置

摘要

本发明之目的在于提供一种基板测定装置，其在基板大型化时，亦可正确地测定基板。本发明之基板测定装置之测长机包含：基部10；平台部14，其不受到来自基部10之应力，于其表面对于垂直方向成微小角度倾斜之状态下，由基部10加以支持；导向辊42及升降辊43，用以支持应进行测定之基板100之下端部；架台15，藉由被设置于平台部上部与下部之导向辊45所导向，而可沿着平台部14之表面于左右方向移动；以及摄像部18，藉由被设置于该架台15之导向辊53所导向，而可沿着架台15于上下方向移动。