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发明名称
受测试元件之探测系统及其视频显示方法
摘要
本案揭示一种系统,包含像化元件,可供探针有效定位,以便测试半导体晶圆。
申请公布号
TW200703535
申请公布日期
2007.01.16
申请号
TW095102972
申请日期
2006.01.26
申请人
卡斯凯德微科技公司
发明人
安德鲁;赫斯;纽罗伯特
分类号
H01L21/66(2006.01)
主分类号
H01L21/66(2006.01)
代理机构
代理人
陈诗经
主权项
地址
美国
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