发明名称 受测试元件之探测系统及其视频显示方法
摘要 本案揭示一种系统,包含像化元件,可供探针有效定位,以便测试半导体晶圆。
申请公布号 TW200703535 申请公布日期 2007.01.16
申请号 TW095102972 申请日期 2006.01.26
申请人 卡斯凯德微科技公司 发明人 安德鲁;赫斯;纽罗伯特
分类号 H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01L21/66(2006.01)
代理机构 代理人 陈诗经
主权项
地址 美国