| 摘要 |
提供一种多室电浆处理系统。此多室电浆处理系统包括多个处理室，各具有一感应耦合电浆产生器。此感应耦合电浆产生器经由一第一阻抗匹配器被电气连接至一主电源提供源。第一阻抗匹配器具有至少一可变电感器。感应耦合电浆产生器之点火电极并联连接至作为可变变压器之点火电源。第一阻抗匹配器之可变电感器及点火电源之可变变压器是由一控制器控制。许多处理室各具有一电浆密度调节器。使用此多室电浆处理系统，包括点火电源、RF电源、阻抗匹配器等等之电源提供系统可被有效地集积。使得，可以减小设备之面积及多室电浆处理系统之成本，以各别地控制各处理室之电浆密度。因此，可改善处理产量，因而可以进一步改善多室电浆处理系统之产量。 |
