| 摘要 |
一种可用于批式热处理炉(batch thermal treatment oven)中之气体注射器套管(40)，其包含二个矽壳层(54、56)，该等壳层系利用由微 的矽粉体与可固化之氧化矽形成剂(curable silica–forming agent)所形成的黏着剂而接合在一起，该黏着剂例如为可以超音波加以均质化的旋涂玻璃。该套管在其末端上可具有一气体出口(52)，或可由矽盖件(86)所密封，且该套管在其侧边上具有侧面出口孔洞(84)。该矽注射器套管可与一矽塔(silicon tower)以及一矽衬垫结合使用，使得位于炉热区中的所有主体部分(bulk parts)系由矽所形成。 |
