正型光阻组成物,厚膜光阻叠层物,制造厚膜阻剂图案的方法,以及制造连接端子的方法

摘要

本发明的正型光阻组成物为一曝光于具有一或多种选自g–射线、h–射线及i–射线之波长的光线之正型光阻组成物，其包含：(A)化合物，其在以活性射线或辐射照射下产生酸，及(B)树脂，其在硷中的溶解度以酸的作用而增强，其中组份(A)包括在阳离子部分中具有环之盐(Al)。