用于热处理支撑塔的可分离边缘环

摘要

本发明揭示一种边缘环(152)以用于批次热处理晶圆(30)，该些晶圆(30)系被支撑在一炉管(160)内之一垂直塔(140)上。边缘环具有大约重叠晶圆周围之宽度，且可以在晶圆之间被分离地支撑在该塔上而等间隔，以减少热边缘效应。该些边缘环可以具有内或外凹部以扣住在塔脚件(142、144、146)之扣部上或其附近之支撑住晶圆的结构，或被形成在边缘环侧面上的一或多个台阶可以滑动且接着落在结合于支撑指部之一锁扣突脊的下方。较佳者，该塔与该些边缘环及炉管邻近于热区之其他构件(168、180)系由矽所组成。