包含多重雷射之相对移动感测器

摘要

一种量测一物件(15)与一感测器彼此相对移动之相对移动感测器，该感测器包含用于产生个别量测光束且由此照射该物件(16)之复数个雷射(3,5)，以及复数个量测各雷射空腔操作之变化的个别光二极体(4,6)，其中各雷射空腔操作之变化系由经过反射重新进入该个别雷射空腔之量测辐射束及该雷射空腔中的光波所产生。复数个雷射(3,5)系以一时间多工方式操作，使得仅有一部分(即一或多个)雷射在任何一时间操作，而剩余之雷射被闲置。这减少峰值功率消耗及防止一雷射之量测幅射束进入另一雷射空腔所产生错误之干扰。