实施成形为线光束之雷射与沉积于基材上之薄膜间之交互作用的系统与方法(二) SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE

摘要

揭露一用于聚焦一光束以与一沉积在一基材上之薄膜作一交互作用之系统及方法，其中该经聚焦光束系界定一短轴线及一长轴线。一态样中，该系统可包括一侦测系统以分析一像平面上自该薄膜反射之光来决定该光束是否在短轴线中聚焦于薄膜处。另一态样中，可提供一系统以定位一薄膜(具有一不完美、非平面性表面)以供与一经成形线光束之交互作用。