用于连续侧向长晶(Sequential Lateral Solidification, SLS)制程之光罩及利用此光罩结晶非晶矽之方法

摘要

一种用于连续侧向长晶制程之光罩，包括至少一横向延伸之第一狭缝、至少一横向延伸之第二狭缝、至少一横向延伸之第三狭缝与至少一横向延伸之第四狭缝。其中，第二狭缝系位于第一狭缝之延伸方向，并且，第一狭缝之宽度系大于第二狭缝之宽度。第四狭缝系位于第三狭缝之延伸方向，并且，第四狭缝之宽度系大于第三狭缝之宽度。