发明名称 |
沉积设备及方法 |
摘要 |
本发明提供一种包括将粉末物质注射至一电浆气流中之微型喷射设备及方法。该物质包含第一及第二组份粉末。该第二粉末以重量计占该粉末物质的大多数。该第一粉末用作熔点抑制剂。第一及第二粉末可具有相似组成,但其中该第一粉末包括较大数量之熔点抑制剂成份。 |
申请公布号 |
TW200702492 |
申请公布日期 |
2007.01.16 |
申请号 |
TW095105296 |
申请日期 |
2006.02.16 |
申请人 |
联合工艺公司 |
发明人 |
唐R 布兰肯席;大卫A 鲁兹;诺曼A 佩特鲁斯卡;保罗H 赛巧斯基;葛瑞 舒伯特 |
分类号 |
C23C4/12(2006.01);B23P15/02(2006.01) |
主分类号 |
C23C4/12(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
美国 |