具有磁性的光罩支撑结构

摘要

本发明是有关于一种光罩支撑结构，特别是用于大表面积之一基板。尤其是以真空涂膜程序进行有机电致发光材料之微结构(microstructuring)，以制造有机发光二极体(organic light emitting diode，OLED)之萤幕、显示器及其类似物。于涂膜程序之期间，系有一基板载体用以承载基板。此基板载体包括一或多个磁性物质。而此光罩特别具有一磁性材料之框架，使得光罩之框架经由与此基板相应之基板载体上之此些磁性物质被支持住，用以进行涂膜。