基材处理装置与基材收纳方法

摘要

一种用于一基材处理装置之基材收纳方法，其包含：由一输送装置将自一收纳箱取出之该基材输送至该基材处理装置之一第一步骤；在该基材处理装置处理该基材之一第三步骤；在该第三步骤之后由该输送装置将该基材返回至该收纳箱之一第四步骤；自该第一步骤到该第四步骤之前，运算关于位于该输送装置的该基材之一正常位置之一总量差异之一第二步骤；以及在该第三步骤后持续到该第四步骤止，调整位于该收纳箱内的该基材之一返回位置之一第五步骤。