奈米碳管阵列制作方法

摘要

本发明涉及一种奈米碳管阵列制作方法，其包括以下步骤：提供一形成有遮挡层之基底；提供一催化剂蒸发源；沿一旋转轴旋转基底，于基底上形成具有厚度梯度之催化剂薄膜；去除遮挡层，于催化剂薄膜上定义出至少一催化剂区块，该催化剂区块之厚度由其一第一端部向一第二端部逐渐减薄，且于该第一端部至第二端部之范围内有一厚度最接近一最佳厚度；将催化剂区块处理成催化剂颗粒阵列；通入碳源气，利用CVD法生长奈米碳管阵列，该奈米碳管阵列向背离最佳厚度方向弯曲。本发明藉由对催化剂薄膜之控制，可实现奈米碳管阵列局部之多个方向生长。