| 发明名称 |
空间的光调变装置,微影装置,显示装置,制造具有空间的光图案之光束的方法及制造装置的方法 |
| 摘要 |
本发明揭示一种用于提供一可响应于一电信号而改变之空间光图案之空间光调变装置(SLM)，其包括一第一调变元件(ME1)及一第二调变元件(ME2)。该第一调变元件(ME1)处理之第一光束(LB1)及该第二调变元件(ME2)处理之第二光束(LB2)可经叠加以便形成该空间光图案。以此方式，该第二调变元件(ME2)中之一对应像素可补偿该第一调变元件(ME1)中之一缺陷。由该第一调变元件(ME1)及该第二调变元件(ME2)提供之空间光图案系互补且结合成合意之空间光图案。该空间光调变装置(SLM)可用于一微影装置(LA)或一显示装置(DD)中。 |
| 申请公布号 |
TW200702721 |
申请公布日期 |
2007.01.16 |
| 申请号 |
TW095116581 |
申请日期 |
2006.05.10 |
| 申请人 |
皇家飞利浦电子股份有限公司 |
发明人 |
艾瑞克 珍 路斯 |
| 分类号 |
G02B26/04(2006.01);G02F1/01(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G02B26/04(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
荷兰 |
