图案形成方法、液滴吐出头、图案形成装置、彩色滤光器基板之制造方法、彩色滤光器基板、光电装置之制造方法及光电装置

摘要

本发明系提供一种提升图案形状之均匀性及生产性之图案形成方法、液滴吐出头、图案形成装置、彩色滤光器基板之制造方法、彩色滤光器基板、光电装置之制造方法及光电装置。其解决方法系于各液滴吐出头设置赋予包含吐出头振幅值及吐出头频率fh之振动的振动部，当各吐出对象喷嘴Rj入侵到对应之红色着色层形成区域上时，藉由该振动部使液滴吐出头振动。而当吐出对照嘴Rj之中心位置对峙于对应之红色着色层形成区域之吐出区域Sj期间，从该吐出对照喷嘴Rj吐出微小液滴Ds，以形成红色着色层。