喷墨印头及其制程

摘要

一种喷墨印头制程。提供一晶圆，而此晶圆具有多个致动元件。在晶圆上形成一图案化光阻层，其中图案化光阻层具有多个腔室与分别连接至这些腔室之多个流道，且这些腔室位于这些致动元件上方。在图案化光阻层上形成一负光阻层，其中负光阻层覆盖这些腔室与这些流道。对于负光阻层进行一曝光制程，然后对于负光阻层进行一显影制程，以形成一图案化负光阻层，其中图案化负光阻层具有多个喷嘴，而这些喷嘴分别与这些腔室连通，且各喷嘴之孔径由图案化负光阻层之上表面往图案化负光阻层之下表面逐渐增加。