| 发明名称 |
蚀刻剂冲洗方法 |
| 摘要 |
本发明系关于一种使用硫代硫酸盐溶液自聚合物移除碘之方法。 |
| 申请公布号 |
TW200703484 |
申请公布日期 |
2007.01.16 |
| 申请号 |
TW095119287 |
申请日期 |
2006.05.30 |
| 申请人 |
3M新设资产公司 |
发明人 |
史帝芬 杨恩 瑜;培-山 曾;娜娜雅卡拉 利耶娜吉 邓 索玛西里;LIYANAGE DON |
| 分类号 |
H01L21/30(2006.01);B08B3/04(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/30(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文;简秀如 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
